ปั๊มกลของเครื่องเคลือบสูญญากาศเรียกอีกอย่างว่าปั๊มสำรอง ปั๊มกลเป็นปั๊มสุญญากาศต่ำที่ใช้กันอย่างแพร่หลายมากที่สุด ใช้น้ำมันเพื่อรักษาผลการซีลและเปลี่ยนปริมาตรของช่องดูดในปั๊มอย่างต่อเนื่องโดยวิธีทางกล ปริมาตรของก๊าซในภาชนะที่สูบจะขยายตัวอย่างต่อเนื่องเพื่อให้ได้สุญญากาศ ปั๊มเครื่องกลมีหลายประเภท และประเภทที่ใช้กันทั่วไปสี่ประเภท ได้แก่ แบบสปูลวาล์ว แบบลูกสูบแบบลูกสูบ แบบใบพัดแบบตายตัว และแบบใบพัดแบบโรตารี่

เครื่องเคลือบสูญญากาศ

องค์ประกอบของปั๊มกลของเครื่องเคลือบสูญญากาศ ปั๊มเชิงกลมักใช้เพื่อกำจัดอากาศแห้ง แต่ไม่สามารถกำจัดก๊าซที่มีปริมาณออกซิเจนสูง ก๊าซที่ระเบิดได้และมีฤทธิ์กัดกร่อน และโดยทั่วไปปั๊มเชิงกลใช้เพื่อกำจัดก๊าซถาวร แต่ก็ไม่ได้ผลดีกับไอน้ำ ดังนั้นจึงไม่สามารถขจัดไอน้ำได้ ส่วนหลักของปั๊มใบพัดหมุนคือ สเตเตอร์ โรเตอร์ เศษกระสุน ฯลฯ โรเตอร์อยู่ภายในสเตเตอร์ แต่มีแมนเดรลที่แตกต่างจากสเตเตอร์ เช่น วงกลมสองวงที่จารึกไว้ มั่นใจได้ว่าเศษกระสุนติดอยู่กับผนังด้านในของสเตเตอร์อย่างแน่นหนา

เศษกระสุนสองอันของปั๊มเชิงกลของเครื่องเคลือบสูญญากาศมีบทบาทสองประการสลับกัน ในอีกด้านหนึ่ง ก๊าซจะถูกดูดเข้าจากช่องอากาศเข้า และในทางกลับกัน ก๊าซที่ถูกดูดเข้าไปจะถูกบีบอัดและก๊าซจะถูกระบายออกจากปั๊ม ปั๊มดูดสองครั้งและปล่อยสองครั้งสำหรับการหมุนแต่ละครั้งของโรเตอร์ เมื่อปั๊มหมุนตามเข็มนาฬิกาอย่างต่อเนื่อง ปั๊มใบพัดหมุนจะสูดก๊าซผ่านช่องลมเข้าอย่างต่อเนื่อง และปล่อยก๊าซออกจากช่องระบายออกอย่างต่อเนื่องเพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ในการปั๊มภาชนะ เพื่อปรับปรุงระดับสูญญากาศขั้นสูงสุดของปั๊ม สเตเตอร์ของปั๊มถูกแช่อยู่ในน้ำมัน เพื่อให้น้ำมันเพียงพอเสมอในช่องว่างและช่องว่างที่เป็นอันตรายทุก ๆ ที่เพื่อเติมช่องว่าง ดังนั้นน้ำมันจึงมีบทบาทในการหล่อลื่น มือข้างหนึ่งและอีกข้างหนึ่ง ในอีกด้านหนึ่ง มันมีบทบาทในการปิดผนึกและปิดกั้นช่องว่างและช่องว่างที่เป็นอันตราย ป้องกันไม่ให้โมเลกุลของก๊าซไหลกลับเข้าไปในอวกาศด้วยแรงดันต่ำผ่านช่องทางต่างๆ

ปั๊มกลของเครื่องเคลือบสูญญากาศเริ่มทำงานจากบรรยากาศ พารามิเตอร์หลักของมันคือสุญญากาศขั้นสุดท้ายและอัตราการสูบน้ำ ซึ่งเป็นพื้นฐานที่สำคัญสำหรับการออกแบบและการเลือกปั๊มเชิงกล ปั๊มแบบขั้นตอนเดียวสามารถปั๊มคอนเทนเนอร์จากบรรยากาศไปยังสุญญากาศขั้นสุดท้ายที่ 1.0*10-1-1PA และปั๊มแบบกลไกสองขั้นตอนสามารถปั๊มคอนเทนเนอร์จากบรรยากาศเป็น 6.7*10-2PA หรือสูงกว่านั้นอีก

อัตราการสูบหมายถึงปริมาตรของก๊าซที่สามารถระบายออกได้ต่อหน่วยเวลาเมื่อปั๊มใบพัดหมุนทำงานที่จำนวนรอบที่กำหนด ซึ่งสามารถคำนวณได้โดยสูตรต่อไปนี้:

Sth=2nVs=2nfsL

fs หมายถึงพื้นที่หน้าตัดของช่องเมื่อสิ้นสุดการหายใจ L หมายถึงความยาวของช่อง ค่าสัมประสิทธิ์แสดงว่าโรเตอร์มีกระบวนการหลบหนีสองขั้นตอนต่อการปฏิวัติ และ Vs แสดงว่าเมื่อโรเตอร์อยู่ในแนวนอน ตำแหน่ง สิ้นสุดการสูดดม และปริมาตรในโพรงที่ใหญ่ที่สุดในขณะนี้ , ความเร็วคือ n

ผลกระทบจากไอเสียของปั๊มเชิงกลของเครื่องเคลือบสูญญากาศนั้นสัมพันธ์กับความเร็วของมอเตอร์และความรัดกุมของสายพานด้วย เมื่อสายพานของมอเตอร์ค่อนข้างหลวมและความเร็วของมอเตอร์ช้ามาก ผลกระทบจากไอเสียของปั๊มเชิงกลก็จะแย่ลงด้วย ดังนั้นจึงจำเป็นต้องบำรุงรักษา การตรวจสอบ ผลการซีลของน้ำมันปั๊มเชิงกลบ่อยครั้งด้วย เพื่อตรวจสอบบ่อยๆ ถ้าน้ำมันน้อยเกินไป จะไม่สามารถบรรลุผลการปิดผนึก และปั๊มจะรั่วไหลของอากาศ โดยทั่วไประดับน้ำมันต่ำกว่าเส้น 0.5 ซม.