องค์ประกอบของเครื่องเคลือบสูญญากาศคืออะไร- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

ดิ เครื่องเคลือบสูญญากาศมัลติฟังก์ชั่น เป็นอุปกรณ์ไฮบริดของแมกนีตรอนสปัตเตอริง มัลติอาร์คไอออน และการเคลือบแบบระเหย เป็นอุปกรณ์ที่มีเป้าหมายทรงกระบอกหรือเป้าหมายแมกนีตรอนแบบแบนบนพื้นฐานของเครื่องเคลือบไอออนแบบหลายส่วนโค้ง อุปกรณ์นี้มีอัตราการแตกตัวเป็นไอออนสูงของการชุบไอออน , ลักษณะของการสะสมความเร็วสูง และยังมีข้อดีของอุณหภูมิต่ำและความเสถียรของแมกนีตรอนสปัตเตอริง เหมาะสำหรับการชุบฟิล์มคอมโพสิตต่างๆ

เครื่องเคลือบสูญญากาศแบบมัลติฟังก์ชั่น - แมกนีตรอน, ความถี่กลาง, การเคลือบไอออนแบบหลายอาร์คแนะนำเฉพาะ:

① เครื่องผสมการคายน้ำและแมกนีตรอนสปัตเตอร์: มัลติฟังก์ชั่น เหมาะสำหรับการผลิตจำนวนมาก และการปรับตัวที่แข็งแกร่ง

② การใช้แมกนีตรอนสปัตเตอริงและการชุบไอออนแบบหลายอาร์คแบบผสม: อาร์กหลายส่วนสามารถปรับปรุงคุณภาพของการทำความสะอาดปลอกกระสุน และเพิ่มแรงยึดเหนี่ยวระหว่างฟิล์มกับพื้นผิว เมื่อทำงานร่วมกับแมกนีตรอนสปัตเตอร์ สามารถสร้างฟิล์มคอมโพสิตได้ (การทำความสะอาดและกระตุ้นด้วยแหล่งไอออนพลังงานสูงและความเร็วในการขึ้นรูปฟิล์มนั้นรวดเร็ว)

③ การใช้เป้าหมายความถี่กลางหลายคู่ผสมกันของเป้าหมายการสปัตเตอร์แมกนีตรอนความถี่กลางและการชุบไอออนอาร์คแบบเสา: เป้าหมายความถี่กลางมีเสถียรภาพมากขึ้น (เช่น Al) โดยมีอัตราการแตกตัวเป็นไอออนสูง อัตราการสะสมที่รวดเร็ว และการเกิดฟิล์มที่สม่ำเสมอ การสปัตเตอร์รีแอกทีฟความถี่ปานกลาง เช่น การชุบ SiO2 และ TiO2 ใช้เพื่อเคลือบวัตถุดิบที่แตกต่างกันหลายชั้นพร้อมกัน

④ การประยุกต์ใช้ RF, DC, IF และส่วนโค้งของคอลัมน์แบบผสม: RF สามารถเคลือบฟิล์มป้องกันฉนวน SiO2 / Ag / SiO2 ได้โดยตรง

⑤ การใช้ส่วนโค้งทรงกระบอก ความถี่กลาง และหลายส่วนแบบผสม: ส่วนโค้งทรงกระบอกช่วยให้อัตราการแตกตัวเป็นไอออนสูง ลดสัดส่วนของการสะสมอนุภาคขนาดใหญ่ และบรรลุผลของแรงยึดเหนี่ยวที่ดีและผิวสำเร็จที่ดี เครื่องเคลือบสูญญากาศมัลติฟังก์ชั่นเหมาะสำหรับสินค้าขนาดกลางและระดับสูง เช่น สายนาฬิกา, กล่องนาฬิกา, กรอบแว่นตา, เคสโทรศัพท์มือถือ, อุปกรณ์กอล์ฟ, เครื่องสุขภัณฑ์, อุปกรณ์เสริม ฯลฯ