ในปัจจุบัน ฟิล์มแข็งที่ใช้งานทางกลไกส่วนใหญ่ (โดยเฉพาะฟิล์มที่ใช้สำหรับเครื่องมือตัด) ในโลกใช้เทคโนโลยีการสะสมอาร์คคาโทดิก ประสิทธิภาพของแอปพลิเคชัน โดยเฉพาะอย่างยิ่งปัญหาอนุภาคของอุปกรณ์สะสมอาร์คคาโทดิกที่ผลิตในประเทศนั้นร้ายแรงเป็นพิเศษ การแนะนำเทคโนโลยีการกรองด้วยแม่เหล็กบนพื้นฐานของเทคโนโลยีนี้สามารถแก้ปัญหาของอนุภาคที่สะสมบนพื้นผิว แต่ประสิทธิภาพการสะสมเป็นเพียงประมาณ 1/10 ของต้นฉบับและพื้นที่การสะสมมีขนาดเล็กเพื่อให้วงจรการผลิตเป็น ยาว ต้นทุนการผลิตสูง และไม่เหมาะกับการเคลือบมวล แอพพลิเคชั่นการผลิต พื้นผิวของฟิล์มที่เตรียมโดยเทคโนโลยีแมกนีตรอนสปัตเตอร์นั้นเรียบและละเอียดอ่อน อัตราการสะสมอยู่ในระดับปานกลาง และสามารถฝากฟิล์มอย่างสม่ำเสมอในพื้นที่ขนาดใหญ่ อย่างไรก็ตาม เทคโนโลยีแมกนีตรอนสปัตเตอร์ยังมีอัตราการแตกตัวเป็นไอออนต่ำ (โดยทั่วไป 10%) และฟิล์มที่เตรียมไว้ไม่ดีเท่ากับฟิล์มที่เตรียมโดยเทคโนโลยีแคโทดิกอาร์กในแง่ของความแข็ง ความต้านทานการสึกหรอ และแรงยึดเหนี่ยว การเคลือบปฏิกิริยาเคมีจะดำเนินการ (เช่น TiN, TiO2) เนื่องจากอัตราการแตกตัวเป็นไอออนต่ำและปฏิกิริยาของอนุภาคโลหะต่ำ ก๊าซปฏิกิริยาจะต้องถูกเติมเข้าไปมากเกินไป ทำให้เกิดพิษ (ปฏิกิริยาเคมี) ของพื้นผิวเป้าหมายของแมกนีตรอน ทำให้เกิดหิมะถล่มเป็นชุด เช่น คม การลดอัตราการระเหย เป็นผลให้การเคลือบปฏิกิริยาแมกนีตรอนสปัตเตอร์ไม่เสถียรและไม่สามารถควบคุมได้

ดังนั้นจึงมี เครื่องเคลือบสูญญากาศไอออนแบบมัลติฟังก์ชั่น ที่ตลาด. จากการทดลองและการใช้งานในอุตสาหกรรมจำนวนมาก โครงการได้ข้อสรุปดังต่อไปนี้:

(1) เครื่องเคลือบไอออนอเนกประสงค์ที่ออกแบบมาพร้อมเทคโนโลยีการเคลือบหลายแบบประสบความสำเร็จ และประสิทธิภาพที่ครอบคลุมของระบบการเคลือบที่จัดตั้งขึ้นนั้นอยู่ในตำแหน่งผู้นำในประเทศจีน

(2) อุปกรณ์สามารถเตรียมฟิล์มหลายชั้นที่มีลักษณะเหมือนเพชรและโลหะไนโตรเจน (หรือคาร์บอน) ที่มีพื้นผิวเรียบและหนาแน่น พื้นผิวเรียบและละเอียดอ่อน และประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมในพื้นที่ขนาดใหญ่และต้นทุนต่ำ

(3) การใช้เลเยอร์ทรานซิชันระดับกลางแบบไล่ระดับหลายชั้นแบบพิเศษและเทคโนโลยียาสลบช่วยลดความเครียดภายใน ปรับปรุงแรงยึดติดของฟิล์ม/พื้นผิว และเอื้อต่อการเติบโตของชั้นฟิล์ม (หนาไม่เกิน 6 มม.)

(4) ฟิล์ม DLC ที่เตรียมไว้มีคุณสมบัติครอบคลุมที่ดีเยี่ยม: ความแข็ง>20GPa (สูงถึง 37.25GPa), ความหนาที่ปรับได้ (ความหนาสูงสุด 6 มม.), แรงยึดเกาะของฟิล์ม/ฐาน>50N (สูงถึง 100N), ค่าสัมประสิทธิ์การเสียดสี <0.2 , ฟิล์มมีความเรียบเนียนและละเอียดอ่อน

(5) เมทริกซ์ที่พัฒนาแล้ว/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC สารเคลือบหล่อลื่นแบบหลายชั้นที่ทนต่อการสึกหรอและทนความร้อนมีคุณสมบัติครอบคลุมที่ดี: ความแข็งสูงถึง 28.7GPa ความหนาสามารถปรับได้จาก 1-4 มม. และฟิล์ม / แรงยึดเหนี่ยวฐานมากกว่า 70N และค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานน้อยกว่า 0.2

(6) ฟิล์มที่ทนทานต่อการสึกหรอและกันแรงเสียดทานที่พัฒนาขึ้นได้ถูกนำไปใช้กับแม่พิมพ์ที่มีความแม่นยำสูงและส่วนประกอบสำคัญที่มีความแม่นยำหลากหลาย ผลการใช้งานแสดงให้เห็นว่าชั้นฟิล์มมีความโดดเด่นในการเสริมความแข็งแรงให้กับพื้นผิว ซึ่งสามารถปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์และอายุการใช้งานได้อย่างมาก

เครื่องเคลือบ Tribological โลหะสแตนเลส

การชุบไอออนแบบอาร์กหลายจุดแนะนำโหมดการปล่อยก๊าซต่างๆ ในด้านการสะสมไอภายใต้สภาวะสุญญากาศ กระบวนการสะสมไอทั้งหมดดำเนินการในกระบวนการพลาสมา สามารถเคลือบได้ไม่เฉพาะบนพื้นผิวของผลิตภัณฑ์โลหะเท่านั้น แต่ยังเคลือบบนพื้นผิวของผลิตภัณฑ์ที่ไม่ใช่โลหะด้วย สามารถชุบด้วยฟิล์มโลหะ ไททาเนียมไนไตรด์ ไททาเนียมคาร์ไบด์ เซอร์โคเนียมไนไตรด์ โครเมียมไนไตรด์ ไททาเนียมออกไซด์ และฟิล์มอื่นๆ