โครงสร้างการปิดผนึกแก้วกับโลหะของ อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ PVD ต้องเป็นไปตามข้อกำหนดของการปิดผนึกชิ้นส่วนที่มีความต้านทานการอบ ความแข็งแรง ความหนาแน่นของอากาศ และประสิทธิภาพของฉนวนไฟฟ้าที่ดี ประเภททั่วไปของการปิดผนึกระหว่างแก้วกับโลหะสำหรับเครื่องมือสูญญากาศคือการปิดผนึกที่ตรงกัน การปิดผนึกที่ไม่ตรงกัน และการปิดผนึกการเปลี่ยน

1. การจับคู่และการปิดผนึก

รูปแบบการปิดผนึกหมายความว่าค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเชิงเส้นของแก้วและโลหะภายในช่วงอุณหภูมิที่กำหนดจะน้อยกว่า 10%

2. การปิดผนึกไม่ตรงกัน

รูปแบบการปิดผนึกหมายความว่าค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเชิงเส้นของแก้วและโลหะมีค่ามากกว่า 10%

3. การปิดผนึกการเปลี่ยน

เมื่อค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเชิงเส้นของแก้วและโลหะมีความแตกต่างกันมาก หนึ่งหรือหลายแก้วที่มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเชิงเส้นระหว่างแก้วและโลหะก็สามารถนำมาใช้สำหรับการปิดผนึกทรานซิชันได้

ในแง่ของโครงสร้าง อุปกรณ์สูญญากาศชนิดปิดผนึกระหว่างแก้วกับโลหะสามารถแบ่งออกเป็นโครงสร้างการปิดผนึกท่อ โครงสร้างตู้ และโครงสร้างการปิดผนึกแผ่นดิสก์ โครงสร้างการปิดผนึกท่อที่ใช้กันทั่วไปคือโครงสร้างก้นของท่อกลมโลหะและท่อกลมแก้ว เช่นการปิดผนึกหลอดแก้วและข้อต่อหน้าแปลน Kovar โครงสร้างที่ปิดล้อมหมายถึงโครงสร้างที่ผนึกรอบแท่งโลหะที่ล้อมรอบด้วยแก้ว เช่น ตะกั่วเกจฟิล์มสั่นสะเทือนสูญญากาศ ตะกั่วเกจฉีดโค้ง ลวดตะกั่วเกจวัดไอออไนซ์สุญญากาศสูงพิเศษ ฯลฯ

ระบบดูดอากาศแบบกระจกหลายช่องเครื่องเคลือบสูญญากาศตกแต่ง

ตัวเครื่องเต็มด้วยสแตนเลส 304 ดีไซน์น้ำหล่อเย็นสองชั้น

แหล่งกำเนิดไอออนอาร์คที่พัฒนาขึ้นใหม่หลายชุดได้รับการติดตั้งอย่างเหมาะสมเพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรและความสม่ำเสมอของการสปัตเตอร์ของแหล่งกำเนิดอาร์ก

ระบบรับอากาศเข้าแบบหลายช่องสัญญาณถูกนำมาใช้เพื่อควบคุมการไหลของก๊าซอย่างแม่นยำ เพื่อตอบสนองความต้องการของคุณสำหรับฟิล์มผสมต่างๆ

เมื่อรวมกับเทคโนโลยีพัลส์อคติ พลังงานอนุภาคไฟฟ้าจะดีขึ้นอย่างมาก เพื่อให้ได้ฟิล์มยึดเกาะที่ดีเยี่ยมและเสร็จสิ้น

อุปกรณ์ส่วนใหญ่ใช้กันอย่างแพร่หลายใน: ผลิตภัณฑ์ฮาร์ดแวร์, งานฝีมือแก้ว, งานฝีมือเซรามิก, เช่นผลิตภัณฑ์ในห้องน้ำ, นาฬิกาและนาฬิกา, มีด, แม่พิมพ์, แก้วคริสตัล, เครื่องมือกอล์ฟ, โคมไฟ, กรอบแว่นตา, กระเบื้องเซรามิก, กระเบื้องปูพื้น ฯลฯ

ประมวลผลวัสดุ: สแตนเลส ทองแดง เหล็ก โลหะผสมสังกะสี อลูมิเนียม ABS แก้ว เซรามิก ฯลฯ

สถานะพื้นผิวของวัสดุในกระบวนการ: พื้นผิวที่สว่างของการชุบด้วยไฟฟ้าธรรมดา, พื้นผิวใบ้ (กึ่งใบ้, ใบ้เต็ม), กระบวนการชุบรอยยับด้วยไฟฟ้า, แปรง, เม็ดฝน, ฯลฯ

สีชุบ ได้แก่ โปร่งแสง ทอง เงิน กุหลาบทอง ดำ เขียว น้ำเงิน ม่วง รุ้ง TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、Al2O3 ฯลฯ