ดิ เครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอร์ ประกอบด้วยองค์ประกอบหลายอย่าง ซึ่งแต่ละส่วนมีการใช้งานเฉพาะตัว และขาดไม่ได้ เครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอริงประกอบด้วยระบบสุญญากาศ ระบบดั้งเดิม ระบบทำความร้อน ระบบทำความเย็น ระบบจ่ายอากาศในกระบวนการ และระบบแมกนีตรอนสปัตเตอร์

ระบบสูญญากาศ: อุปกรณ์ระบบสุญญากาศกระจุกตัวอยู่ในบริเวณห้องสุญญากาศ ซึ่งประกอบด้วยอุปกรณ์สูบน้ำ (ปั๊มเครื่องกล ปั๊มราก ปั๊มโมเลกุล) อุปกรณ์ทดสอบ (เกจวัดความต้านทาน เกจไอออไนซ์ เกจเมมเบรน) วาล์วนิรภัย (วาล์วประตูโพรง ปั๊มโมเลกุล) วาล์วปีกนก ปั๊มใบพัดหมุน รูตปั๊มวาล์ว self-priming วาล์วท่อ และวาล์วทำลายอากาศ); ผ่านปั๊มใบพัดหมุน > ปั๊มราก > ปั๊มรีเลย์ปั๊มโมเลกุล ความดันในห้องเปลี่ยนจากบรรยากาศเป็นสุญญากาศ และในการบำรุงรักษาสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่เหมาะสมกับการผลิตในระหว่างกระบวนการผลิต

หลักการทำงานของปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุน ปั๊มใบพัดหมุนประกอบด้วยสเตเตอร์ โรเตอร์ ใบพัดหมุน ฝาครอบถาวร สปริง และส่วนอื่น ๆ โครงสร้างคือการใช้โรเตอร์ประหลาดที่ติดตั้งในช่องเล็บ (วงกลมด้านนอกของโรเตอร์สัมผัสกับพื้นผิวด้านในของสเตเตอร์และช่องว่างระหว่างทั้งสองมีขนาดเล็กมาก) และโรเตอร์สองตัวที่เลื่อนในช่องโรเตอร์และ ยึดติดกับผนังด้านในของสเตเตอร์โดยใช้แรงตึงสปริงและแรงเหวี่ยง เมื่อโรเตอร์หมุน โรเตอร์จะเลื่อนไปตามผนังด้านในของสเตเตอร์เสมอ

ในเกจสุญญากาศเทอร์โมคัปเปิล กระแสของความเข้มคงที่จะถูกส่งผ่านลวด Pt เป็นลวดร้อน หลังจากถึงจุดสมดุลทางความร้อน พลังงานความร้อนจากกระแสไฟฟ้าจะเท่ากับพลังงานที่สูญเสียไปจากการแผ่รังสีความร้อนในอวกาศ การนำความร้อนของโลหะ และการนำความร้อนระดับโมเลกุลของแก๊ส ดังนั้นอุณหภูมิของลวดร้อนจะเปลี่ยนแปลงอย่างสม่ำเสมอตามระดับสุญญากาศ

เกจ Pirani เรียกว่าเกจวัดความต้านทานความร้อน หลักการทำงานของมันคล้ายกับเกจสุญญากาศเทอร์โมคัปเปิล เกจสูญญากาศสูง มักใช้ร่วมกับเกจเทอร์โมคัปเปิลเรียกว่าเกจไอออไนเซชัน และเป็นเครื่องมือวัดที่ใช้บ่อยที่สุดในช่วงสุญญากาศสูง

เกจสูญญากาศประเภทฟิล์มสูญญากาศเป็นเกจสุญญากาศชนิดหนึ่งที่ใช้ฟิล์มโลหะเพื่อสร้างการกระจัดทางกลภายใต้การกระทำของความแตกต่างของแรงดันแก๊ส ดังนั้นจึงสามารถใช้สำหรับการวัดแรงดันแก๊สสัมบูรณ์ และผลการวัดไม่เกี่ยวข้องกับชนิดของก๊าซ .

เกจสูญญากาศเมมเบรนมีห้องสุญญากาศแยกสองห้อง เมื่อทราบความดันในห้องสุญญากาศหนึ่งห้อง และไม่ทราบความดันในห้องสุญญากาศอื่น การกระจัดของเมมเบรนจะเป็นสัดส่วนกับความแตกต่างของความดันระหว่างห้องทั้งสอง ตามสัดส่วน เพื่อปรับปรุงความแม่นยำของการวัด การเคลื่อนที่ของฟิล์มทำได้โดยการวัดการเปลี่ยนแปลงในความจุระหว่างฟิล์มกับอิเล็กโทรดโลหะอื่น

ในช่วงกว้าง เกจสูญญากาศแบบฟิล์มบางมีความเป็นเส้นตรงที่ดีและขีดจำกัดในการตรวจจับอยู่ที่ประมาณ 10-3pa ซึ่งเทียบเท่ากับการตรวจจับการกระจัดของฟิล์มบางที่มีขนาดอะตอมเดียว

ระบบส่งกำลังของเครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอร์: ระบบดั้งเดิมมีมอเตอร์ขับเคลื่อนทั้งหมด 24 ตัว, 4 ตัวสำหรับแท่นขนถ่ายแต่ละแท่น, 11 ตัวสำหรับพื้นที่กระบวนการ และ 5 ตัวสำหรับส่วนส่งคืน นอกจากการส่งสัญญาณแล้ว อิเล็กโทรดที่เหลือยังเป็นการส่งทางเดียว

เครื่องเคลือบ DC Magnetron Sputtering

ตัวเครื่องเต็มด้วยสแตนเลส 304 ดีไซน์น้ำหล่อเย็น 2 ชั้น

แหล่งกำเนิดไอออนอาร์คที่พัฒนาขึ้นใหม่หลายชุดได้รับการติดตั้งอย่างเหมาะสมเพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรและความสม่ำเสมอของการสปัตเตอร์ของแหล่งกำเนิดอาร์ก

ระบบรับอากาศเข้าแบบหลายช่องสัญญาณถูกนำมาใช้เพื่อควบคุมการไหลของก๊าซอย่างแม่นยำ เพื่อตอบสนองความต้องการของคุณสำหรับฟิล์มผสมต่างๆ

เมื่อรวมกับเทคโนโลยีพัลส์อคติ พลังงานอนุภาคไฟฟ้าจะดีขึ้นอย่างมาก เพื่อให้ได้ฟิล์มยึดเกาะที่ดีเยี่ยมและเสร็จสิ้น

อุปกรณ์ส่วนใหญ่ใช้กันอย่างแพร่หลายใน: ผลิตภัณฑ์ฮาร์ดแวร์, งานฝีมือแก้ว, งานฝีมือเซรามิก, เช่นผลิตภัณฑ์ในห้องน้ำ, นาฬิกาและนาฬิกา, มีด, แม่พิมพ์, แก้วคริสตัล, เครื่องมือกอล์ฟ, โคมไฟ, กรอบแว่นตา, กระเบื้องเซรามิก, กระเบื้องปูพื้น ฯลฯ

ประมวลผลวัสดุ: สแตนเลส ทองแดง เหล็ก โลหะผสมสังกะสี อลูมิเนียม ABS แก้ว เซรามิก ฯลฯ

สถานะพื้นผิวของวัสดุในกระบวนการ: พื้นผิวที่สว่างของการชุบด้วยไฟฟ้าธรรมดา, พื้นผิวใบ้ (กึ่งใบ้, ใบ้เต็ม), กระบวนการชุบรอยยับด้วยไฟฟ้า, แปรง, เม็ดฝน, ฯลฯ

สีชุบ ได้แก่ โปร่งแสง, ทอง, เงิน, กุหลาบทอง, ดำ, ดำเข้ม, เขียว, น้ำเงิน, ม่วง, รุ้ง ฯลฯ