แบบอย่าง | HY-1214 | HY-1416 | HY-1618 | HY-2020 |
ขนาดห้อง | Ø1200*1400มม. | Ø1400*1600มม. | Ø1600*1800mm | Ø2000*2000มม. |
โครงสร้างหอการค้า | ประตูบานเดี่ยวแนวตั้ง, ประตูเดี่ยวแนวนอน, ประตูบานคู่แนวตั้ง | |||
วิธีการเคลือบ | ไอออนกับเทคโนโลยีอคติ | |||
ULTIMATE สูญญากาศ | 8.0*10-4Pa (โหลดเปล่า) | |||
เวลาสูญญากาศ | โหลดเปล่าจากบรรยากาศถึง 5.0E-2 น้อยกว่า 15 นาที | |||
วัสดุสิ้นเปลือง | ไททาเนียม โครเมียม เซอร์โคเนียม เหล็ก ไททาเนียมและอะลูมิเนียมอัลลอย เป้าหมายสปัตเตอร์ MF และ DC ทุกประเภท | |||
สีเคลือบ | โปร่งแสง, ทอง, เงิน, กุหลาบทอง, ดำ, ดำเข้ม, เขียว, น้ำเงิน, ม่วง, รุ้ง, TiN, ZrN, TiAlN, TiC, TiCN, CrN, Al2O3 ฯลฯ | |||
วิธีการควบคุม | อัตโนมัติเต็มรูปแบบ, กึ่งอัตโนมัติ, แมนนวล, หน้าจอสัมผัส PLC | |||
ความต้องการพิเศษ | กำหนดเอง |